O V-573 inclui um estágio de motor linear ultra-precioso. | Fonte: pi
A Physik Instrumente LP, ou PI, expandiu seu portfólio de produtos com uma nova família de estágio de motor linear de alta dinâmica, o V-573. A empresa disse que esta é uma nova série de estágios de posicionamento linear, com motores lineares de três fases de orientação e fricção precisos.
O estágio linear feito nos EUA com um codificador absoluto é adequado para aplicações industriais e de pesquisa, incluindo varredura, medição, imagem e alinhamento, disse Pi. Os produtos da empresa suportam processos críticos de semicondutores, como nano-litografia, medição de máscara e CD, inspeção de wafer e cubos de wafer.
Karlsruhe, a Alemanha Pi projeta e fabrica sistemas de movimento e automação de precisão, incluindo rolamentos aéreos, hexapods e unidades piezo, em locais na América do Norte, Europa e Ásia. A empresa foi fundada há cinco décadas e hoje emprega mais de 1.900 pessoas em todo o mundo.
Sua subsidiária dos EUA, PI LP, opera cinco instalações na América do Norte, com sua sede em Auburn, Massachusetts. Além dos semicondutores, a empresa alegou que seus sistemas aceleram avanços na fotônica de silício, computação quântica, automação industrial, microscopia de alta resolução e ciências da vida.
O PI fornece especificações sobre o novo estágio do motor
PI listou as seguintes especificações do V-573:
- Viagem de 160/260/360mm
- Resolução do codificador absoluto de 1nm
- Repetibilidade bidirecional de 80nm
- Rechada/nivelamento a 1 µm
- 500mm/s. velocidade máxima
- Aceleração 1G
- 140N Push/Pull Force
A família V-573 combina precisão e velocidade para exigir ambientes de produção, afirmou Pi. Projetado para configurações XY, a empresa disse que os estágios se integram aos seus controladores de movimento Ethercat baseados em ACS, usando algoritmos avançados para o desempenho ideal do sistema.
V-573 pode funcionar em uma variedade de indústrias
O design avançado de estágio fornece valores de ruptura e nivelamento tão baixos quanto 1 µm, disse Pi. Os rolamentos de rolo cruzados garantem alta rigidez, corrida suave e vida útil prolongada. Seu design de contato de linha minimiza o atrito, melhora a precisão e suporta cargas mais altas, com um mecanismo anti-Creep para maior confiabilidade, acrescentou.
Impulsionados por motores lineares de tração direta sem carga, trifásicos, os estágios oferecem desempenho livre de manutenção com movimento suave em altas velocidades e acelerações, afirmou Pi. A transmissão de força direta, juntamente com os codificadores lineares de medição direta, elimina a reação e o jogo, melhorando a precisão e a repetibilidade bidirecional.
O V-573 está disponível com codificadores incrementais ou absolutos. Os modelos absolutos do codificador oferecem resolução de 1 nm e feedback imediato da posição sobre o power-up, eliminando movimentos de referência para uma startup eficiente e segura.
Pi disse que o V-573 é adequado para uma variedade de indústrias, incluindo:
- Inspeção de amostra, micro-montagem de precisão e pesquisa avançada
- Testes e inspeções semicondutores e metrologia
- Automação de precisão, montagem de dispositivos e micro-processamento a laser
- Pick-and-Place de alta velocidade, alinhamento de óptica, micromecânica e componentes fotônicos
- Biotecnologia, microscopia e fabricação de dispositivos médicos
O PI planeja demonstrar sua tecnologia no Semicon West 2025 no estande 1554. A empresa irá presente Suas mais recentes tecnologias de controle de movimento de alta precisão para testes, metrologia e fabricação semicondutores.
https://www.youtube.com/watch?v=tgowlirsgvi